簡要描述：

MetOne標(biāo)準粒子發(fā)生裝置
氣體塵埃粒子計數(shù)器的校正程序
校正所需設(shè)備：
100 級潔凈房或潔凈臺
一臺用于作對比，尚在校正期內(nèi)的塵埃粒子計數(shù)器，如 Metone3400
各粒徑的標(biāo)準粒子，如 0.3um 0.5um 1um 等等
標(biāo)準粒子氣體產(chǎn)生器，如 Model 255
可產(chǎn)生脫離水（ DI 水）的純水系統(tǒng)或類似裝置
其它普通電器，如 220

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詳細介紹

MetOne 255標(biāo)準粒子發(fā)生裝置

氣體塵埃粒子計數(shù)器的校正程序

校正所需設(shè)備：

100 級潔凈房或潔凈臺

一臺用于作對比，尚在校正期內(nèi)的塵埃粒子計數(shù)器，如 Metone3400

各粒徑的標(biāo)準粒子，如 0.3um  0.5um  1um 等等

標(biāo)準粒子氣體產(chǎn)生器，如 Model 255

可產(chǎn)生脫離水（ DI 水）的純水系統(tǒng)或類似裝置

  其它普通電器，如 220V 電源插座，萬用表等等

校正的基本原理

標(biāo)準粒子（如 0.301um ）通過 255 粒子產(chǎn)生器由液狀霧化成氣體，并由其內(nèi)置泵通過 0.2um 的過濾器后的干燥氣體進入取樣管路，這時，將兩臺相同塵埃粒子計數(shù)器同時或先后對取樣管進行抽樣測試，并比校 0.3um 粒徑的測試值。如果其平均值在 20% 以內(nèi)，認為合格。如果不同型號的粒子計數(shù)器，一定要弄清楚其流速，取樣時間，取樣次數(shù)等參數(shù)，并且，還要明白怎樣理解其測試結(jié)果。

三 . 校正的基本步驟：

現(xiàn)假設(shè)對一臺常見的 Metone227B 作校正

首先，要清楚 Metone3413 和 Metone227B 有何差別，其測試原理一樣，但 Metone3413 流速為 1CFM （立方英尺 / 分鐘），而 Metone227B 則為 0.1CFM 。

首先，請將潔凈臺開機，工作半小時，其間內(nèi)也打開 Metone227B 和 Metone3413 ，讓其預(yù)熱半小時。

  準備好 255 的取樣器管，并搭接好其所有氣體管路。

將配好的標(biāo)準液（如 0.301um ）放入脫原子瓶中，注意勿讓液體超過噴嘴。

  設(shè)置 Metone3413 和 Metone227B 的基本參數(shù)

取樣時間都設(shè)置為 00 ： 01 ： 00

取樣次數(shù)都設(shè)置 03

取樣模式都設(shè)置為 Auto

間隔時間都設(shè)置為 00 ： 00 ： 05

讀數(shù)模式都設(shè)置為 Cumulative

注：以上設(shè)置相同，因其流速有 10 倍差，故 Metone3413 測試結(jié)果會是 Metone227B 的 10 倍。

此時，打開 255 電源，調(diào)節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥，在調(diào)至噴嘴閥處呈氣霧出現(xiàn)，干燥氣體流速計約 60SCFH 時后，保持其工作狀態(tài)。

此時，讓 Metone227B 和 Metone3413 同時工作，看其三次的平均結(jié)果，若在 20% 以內(nèi)，視為合格。

拆下脫原子瓶，重新滴入其它標(biāo)準粒子，重復(fù)該測試。
  以上校正只是對比校正，尚可用萬用表對其基本參數(shù)測量，用示波器對其信號捕捉等來輔助調(diào)校。

價格說明

一般情況下：: 劃線價格：劃線的價格可能是商品的銷售指導(dǎo)價或該商品的曾經(jīng)展示過的銷售價等，并非原價，僅供參考。
未劃線價格：未劃線的價格是商品在阿里巴巴中國站上的銷售標(biāo)價，具體的成交價格根據(jù)商品參加活動，或因用戶使用優(yōu)惠券等發(fā)生變化，終以訂單結(jié)算頁價格為準。
活動預(yù)熱狀態(tài)下：: 劃線價格：劃線的價格是商品在目前活動預(yù)熱狀態(tài)下的銷售標(biāo)價，并非原價，具體的成交價可能因用戶使用優(yōu)惠券等發(fā)生變化，終以訂單結(jié)算頁價格為準。
未劃線價格：未劃線的價格可能是商品即將參加活動的活動價，僅供參考，具體活動時的成交價可能因用戶使用優(yōu)惠券等發(fā)生變化，終以活動是訂單結(jié)算頁價格為準。
伙拼折上折活動狀態(tài)下：: 該商品（部分規(guī)格除外）在伙拼折上折活動期間內(nèi)，買家可享受伙拼折上折活動優(yōu)惠價格（該價格較同時期伙拼日?；顒觾r格更優(yōu)惠）。

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